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  • 什么是高真空存桿儀?

    更新時間:2022-06-15      點擊次數:1086
      高真空存桿儀可自由設置為原位樣品臺提供高真空存放環境,避免樣品臺受到污染,更可清潔樣品臺,尤其適用于原位樣品臺。方便研究人員對不同樣品臺的切換,觸屏控制最多可實現10路樣品臺單獨存取。系統可實現真空度檢測及真空度智能維持及漏氣報警功能。
     
      高真空存桿儀的結構介紹:
      1.腔體靠近樣品區的位置為可視化窗口設計,可直接觀察樣品桿上的樣品、芯片等,方便操作。接口模塊包含真空閥,用以在電源關閉時保持真空狀態,或在取桿時實現氣體快速通入,加速樣品桿取出過程。高真空存桿腔體采用模塊化設計,支持多個廠家樣品桿,適用廠家包括:JEOL、FEI、Hitachi。
      2.觸屏控制界面,可以進行真空數據設定、讀取及觸控操作(HMI),圖形化界面清晰簡潔、操作簡便。
      3.高真空自動控制系統,可以根據參數設置要求,自動控制分子泵的啟動與停止,確保樣品桿長期處于高真空狀態。
      4.內置高真空測量系統和高真空發生系統,其中測量系統包括真空度測量和分子泵轉速測量,高真空發生系統包括真空管道、真空泵、真空閥、真空計等,為產品提供高真空存儲環境。

     

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