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    掃描電鏡高溫原位系統-基礎版

    簡要描述:掃描電鏡加熱原位系統通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制,在原位樣品臺內構建熱場自動控制及反饋測量系統,結合EDS、EBSD等多種測試模式,實現從納米甚至原子層面實時、動態監測樣品在真空環境下隨溫度變化產生的微觀結構、相變、元素價態、微觀應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關鍵信息。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2023-12-27
    • 訪  問  量: 734

    詳細介紹


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    我們的優勢

    高分辨率和可靠性

    1.MEMS微加工工藝,加熱芯片視窗區域的氮化硅膜厚度最薄可達10nm,可達到掃描電鏡極限分辨率。


    優異的熱學性能

    1.高精密紅外測溫校正,微米級高分辨熱場測量及校準,確保溫度的準確性。

    2.超高頻控溫方式,排除導線和接觸電阻的影響,測量溫度和電學參數更精確。

    3.采用高穩定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料),既是熱導材料又是熱敏材料,其電阻與溫度有良好的線性關系,加熱區覆蓋整個觀測區域,升溫降溫速度快,熱場穩定且均勻,穩定狀態下溫度波動±1℃。

    4.采用閉合回路高頻動態控制和反饋環境溫度的控溫方式,高頻反饋控制消除誤差,控溫精度±1 ℃。

    5.多級復合加熱MEMS芯片設計,控制加熱過程熱擴散,極大抑制升溫過程的熱漂移,確保實驗的高效觀察。

    6.加熱絲外部由氮化硅包覆,不與樣品發生反應,確保實驗的準確性。



    技術參數

    類別項目參數
    基本參數臺體材質
    高強度鈦合金
    分辨率掃描電鏡極限分辨率
    適用電鏡ZEISS
    EDS/EBSD支持








    應用案例


    圖片11.png

    Synthetic scheme for thepreparation of ZIF-67 crystalsand GC


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    SEM images


    圖片13.png圖片14.png













    ZIF-67 after heated















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